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產品簡介
瑞士VAT真空部件 334347產品身份確認原廠零件號：334347所屬系列：VAT真空閥門密封組件適用機型：VAT 59000系列高真空角閥VAT 47000系列閘板閥
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| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
瑞士VAT真空部件 334347
原廠零件號：334347
所屬系列：VAT真空閥門密封組件
適用機型：
VAT 59000系列高真空角閥
VAT 47000系列閘板閥
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 材質 | 全氟醚橡膠（FFKM） |
| 硬度 | 75±5 Shore A |
| 真空密封等級 | ≤1×10?? mbar·L/s |
| 耐溫范圍 | -20℃~+320℃（短期350℃） |
| 耐化學性 | 耐等離子體/臭氧/酸堿腐蝕 |
| 尺寸規格 | 適配DN63（2.5"）閥門法蘭 |
復合式設計：
主密封唇：雙道FFKM密封邊緣
支撐骨架：不銹鋼316L內嵌環
抗擠壓設計：
截面優化結構（承壓能力提升30%）
| VAT閥門系列 | 具體型號 |
|---|---|
| 59000 | 59063, 59080 |
| 47000 | 47150, 47200 |
| 39000 | 需確認法蘭尺寸匹配 |
表面處理：
法蘭密封面粗糙度Ra≤0.8μm
需用無絨布+異丙醇清潔
安裝扭矩：
| 法蘭類型 | 推薦扭矩 |
|---|---|
| ISO-KF63 | 15~18 Nm |
| CF63 | 30~35 Nm |
氦質譜檢漏：
測試壓力：1×10?? mbar
允許泄漏率：≤1×10?? mbar·L/s
老化測試：
250℃烘烤72小時后壓縮變形≤20%
| 品牌/型號 | 差異點 |
|---|---|
| VAT 334347-M | 金屬包覆版本（耐450℃） |
| Pfeiffer 033434 | Kalrez®材質，價格+40% |
| 國產FFKM-DN63 | 成本低60%，壽命約50%原廠 |
| 工況條件 | 預期更換周期 |
|---|---|
| 常溫高真空（<10?? mbar） | 3~5年 |
| 等離子體環境 | 6~12個月 |
| 高溫（280℃） | 1~2年 |
該密封件需配合 VAT專用真空脂（P/N: 334500） 使用。對于半導體設備，建議每12個月預防性更換，并保留舊件進行失效分析。批量訂單（≥50件）可申請15%年度協議折扣。
瑞士VAT真空部件 334347
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